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詳解真空鍍膜機之蒸發係統是什麽?

發布日期:2016-04-26 00:00 來源:http://www.teefurs.com 點擊:

      真空鍍膜機蒸發係統主要指成膜裝置部分,鍍膜機的成膜裝置很多,有電阻加熱、電子槍蒸發、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式,鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發兩種方式作介紹,因為此兩種方式我應用的比較多。

  

鍍膜設備


  電阻蒸發根據其結構和工作原理是目前為止應用最多,最廣泛的蒸發方式,也是應用時間最長的蒸發方式。它的工作方式是,將鎢片做成船狀,然後安裝在兩個電極中間,在鎢舟中央加上藥材,再緩緩給電極通電,電流通過鎢舟,鎢舟通電發熱,這些低電壓,大電流使高熔點的鎢舟產生熱量,再熱傳導給鍍膜材料,當鎢舟的熱量高於鍍膜材料熔點的時候,材料就升華或者蒸發了,此方法由於操作方便,結構簡單,成本低廉,故被很多設備應用,但是其蒸發出來的薄膜由於致密性不佳,加上很多材料無法采用這種方式蒸鍍,所以其有一定局限性。鎢舟蒸發鍍膜材料的時候,材料的熔點必須小於鎢舟的熔點,否則就沒有辦法進行。

  

  電子槍蒸發鍍膜機是到目前為止應用最多的一種蒸發方式,它可以蒸發任何一種鍍膜材料,它的工作方式是:將鍍膜材料放在坩堝裏麵,將蒸發源製作成燈絲形狀,采用一專門的控製櫃,對燈絲加一強電流,高電壓,由於燈絲的材料是鎢,所以它會發熱,到最後會發射電子,再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀,並牽引到坩堝上,這樣就形成了一股電子束,由於電子束溫度非常高,可以熔化任何鍍膜藥材,當鍍膜藥材被電子束熔化後(有些材料是直接升華),藥材的分子(原子或者離子)在真空中成直線運動,然後遇到基板,就凝結下來,經過這種方式生長,形成薄膜!最常用的有將電子束的偏轉角製作成270度,、或者運行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉角180度,運行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

  

  電子束蒸發的最大優點在於:電子束的光斑可以隨意調整,可以一槍多用,燈絲可以隱藏,避免汙染,可以蒸發任意鍍膜材料,維修方便,蒸發速度可以隨意控製,材料分解小,膜密度高。機械強度好。

  

  濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表麵,通過動能傳輸,令靶材的分子(原子)有足夠的能量從靶材表麵逸出,在產品表麵凝聚形成薄膜。

  

  用濺射的方法製鍍的薄膜附著性強,薄膜的純度高,可以同時濺射多種不同成分的材料,但是對靶材的要求高,不能象電子槍一樣節約資源。

  

  目前運用最多的有磁控濺射鍍膜機,磁控濺射是指平行於陰極表麵施加強電場,將電子約束在陰極靶材表麵附近,提高電離效率。它是操作最簡單的一種,所以運用非常廣。

  


相關標簽:鍍膜機

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