真空鍍膜機多片式比較片裝置的設計特點

真空鍍膜機多片式比較片裝置的設計特點

1)固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染，保證撥動盤15 轉動的靈活性。

2)圓形軸承座2 的設計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸1 的直徑尺寸，加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位置重複的一致性。

3)裝載換位機構，通過擴大支承盤16 的直徑，使該機構在平麵方向的有效麵積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利於光路調整，提高光學薄膜質量；比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內，實現一次可放置50~100 片比較片，解決鍍膜機鍍製多層精密光學薄膜，比較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。

4)定位盤6 與槽型光藕17 的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫，控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證，帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。

5) 轉動密封饋入機構引入威爾遜密封機構5，既保證電機9 通過齒輪齧合帶動軸1 的靈活轉動，又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，

其特點：

1)結構簡單，強度高，可靠性好；

2)比較片裝載數量大，生產效率提高，可鍍製超多層精密光學薄膜；

3)比較片直徑增大，提高薄膜監控的精度，降低對硬件係統的要求，係統容易實現自動控製；

4)維護保養費用低。