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真空鍍膜機真空室形變帶來的影響

發布日期:2017-09-23 00:00 來源:http://www.teefurs.com 點擊:

為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,富二代成年人抖音將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、麵活性支撐,以吸收和隔離形變,並設置形變補償調節機構,在係統抽真空前,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其在真空狀態下達到平衡。 

為了驗證有限元計算的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。第一步,將四隻千分表定位在工作台安裝基點的真空壁外側,當真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表的變化量,經歸一化處理後為用激光自準直儀調整形變補償。   

由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定於工作台上的反射鏡,在大氣環境下調整形變補償調節機構,使反射光束進入自準直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。

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按有限元計算(或第一步測量)的真空狀態下的補償量再次調整,顯然,此時的反射光束已遠離自準直儀接收視場,但一旦真空室進入真空狀態,反射光束又重新進入自準直儀的接收視場,記錄此時的兩維角度偏差。前後兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

工作台運動副的潤滑及對真空環境的影響工作台的掃描是處於真空室環境下的頻繁運動,除用滾動代替滑動來降低摩擦係數外,在導軌、絲杆等運動副之間采取良好的潤滑是保證刻蝕裝置長時間正常運行的必要條件。

真空中的潤滑的方式通常有鍍固體潤滑膜和直接使用潤滑劑等鍍膜容易破壞導軌的運動精度,且工藝複雜。

為此,富二代成年抖音版app測試了一種市場商品――二硫化鉬潤滑劑的潤滑效果,將該潤滑劑直接噴塗在運動副表麵,並用四極質譜儀分析了該潤滑劑在真空中揮發出的氣體的主要成分。

 


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